長岡の町は雪に包まれる中、久しぶりにEagle10 TRIDENTの立会検査が行われました。 今年に入って、完成1台目のEagle10 TRIDENT、"枚葉式プラズマCVD装置" のお披露目です！ APTのエンジニアとお客様でEagle10をチェックしています...

旧型の半導体製造装置（レガシーツール）を使用しているデバイスメーカーは、これらの装置を可能な限り長く活用したいと考えています。事実、多くのEagle10ユーザーは30年余りにわたり継続して使用を続けており、弊社も長年にわたりそのサポートを行っています。一方で、装置メーカーは...

「最新式の装置は金額が高すぎるし、最先端の機能は不要」 「数十年の長期運用事例があり、耐久性に優れた装置が欲しい」 「日本国内で多くの使用実績がある高信頼性の装置を導入したい」 「故障が多くラニングコストが高い既存装置 から置き換えたい」 　...

社内で組み立て作業を進めています！ Eagle10は、日本エー・エス・エム株式会社(日本ASM社)製の枚葉式プラズマCVD装置です。 販売開始から30年余り経ってもなお、現役の装置として国内外でご好評いただいています。 アプトシステムズでは、ASM社発行のシリアルナンバーを...

ちょっとUPが遅れてしまいましたが、今年も長岡に雪の便りが届きました。 トップの画は長岡駅前の噴水に降る雪です。 　下の写真は会社へ向かう道のりの写真です。 まだ降り始めという事もあり、そこまで高くは積もっていませんが 大宮支社から来た担当者は12月の雪に興奮しながら、「こ...

Eagle10 C2F6 → C3F8 改造 ガス サプライヤーによる C2F6 EOL通知を受け引合い増加中 C3F8用改造とクリーニング条件出しの助力対応可能。 （ASM社の改造パターン展開と保有しているクリーニング条件での確認等）...

SiCウエハ含む、透明基板の搬送に！ 最新アライナ Eagle10　新型アライナ OFH-4101Q シリーズ / ダイヘン社製 透明基板向け最新アライナ登場！ 国内でのSiCウエハや透明基板の運用が進む中、Eagle10対応の最新アライナがリリースされました！...

改造事例：SiCウエハ搬送化 Eagle10 に対し、SiCウエハ搬送を可能とする改造 (搬送を可能とする改造であり、成膜に関しては含まれません) 　最近はSiCウエハの搬送に関してのお問い合わせが増えてきておりましたので...

板金から組み立てをいたします！ ASM社が生み出した、 PE-CVDの名器 Eagle10 。 リリースから30年余りたった今でも、現役で絶賛稼働中なだけでなく、アプトシステムズではこのEagle10をASM社発行のシリアルナンバーを継承した正規品として毎年販売しています！...