Eagle10 改造事例 /SiCウエハ搬送化

(搬送を可能とする改造であり、成膜に関しては含まれません)

　最近はSiCウエハの搬送に関してのお問い合わせが増えてきておりましたので

アプトシステムズはSiCウエハ搬送に特化した改造メニューをご用意いたしました。

オリジナルのEalge10でもSiCウエハの搬送をされているお客様も多くいらっしゃいますが、

より搬送の安定性を高めるために、国内導入済みの事例としてご紹介します。

具体的な改造内容

・アライナ交換・調整

・センサー関係改造

・メインコントローラー内ソフト交換

・動作設定変更

・コンフィグデータ変更

・ティーチング、搬送確認

・耐熱対応