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長期運用実績&高信頼性の枚葉式CVD装置をお探しの方必見

  • aptsystems
  • 1月6日
  • 読了時間: 3分

更新日：1月10日

　



「最新式の装置は金額が高すぎるし、最先端の機能は不要」


「数十年の長期運用事例があり、耐久性に優れた装置が欲しい」


「日本国内で多くの使用実績がある高信頼性の装置を導入したい」


「故障が多くラニングコストが高い既存装置 から置き換えたい」


　



様々な理由で、弊社にお問い合わせをいただきます。

今回はそういった皆様のご要望の多くを満たす事ができる、枚葉式プラズマCVD装置をご紹介します。


Ealge10 TRIDENT APTの特徴

　APTが製作する 枚葉式PE-CVD装置 "Eagle10 TRIDENT APT" が現在でもご購入いただいている理由について、装置の特徴と共にご紹介します。



Eagle10 TRIDENTの概要図


　ASM社の枚葉式PE-CVD装置 Ealge10 TRIDENTは下図の構成となっています。

3つのリアクターチャンバーを備えているのが、一番の特徴となります。





Eagle10 TRIDENT APT の特徴


- 装置 -


　●世界中で３０年以上使用され続けている絶対的な実績

・国内外、大きな故障も無く現在でも幅広く使用され支持されています。

　●省設置スペース: フットプリントが小さくてコンパクト

　●低いランニングコストと高いメンテナンス性

・同世代他社装置のヒータブロックより安価&1人が片手で持てる小サイズのヒーター

・E10のヒータは温度分布が1回で測定でき開発向き。温度OFFSETも容易

・チャンバーをOPENせずに、外側から簡単にTOP PLATE ～ SHOWER PLATE間距離（GAP）の調整が可能

　●回転できるシャワープレート & トッププレート

・GAP調整が簡単でチャンバー外側から自由に変更できます

・両方とも120°ずつ3通りの回転が可能

・面内均一性が取れない際、GAP調整や原因の切り分けが容易の為、作業ロスの回避に繋がります




- 部品 -


　●標準部品が日本製でサポート信頼性が高い

・大気ロボット・真空ロボット：JEL社製

・RFジェネレーター・マッチャー：アドテックプラズマテクノロジー社製

・ガス配管：Kitz・FUJIKIN等の部品を APTが新潟でガスライン施工

　●装置納入後の現地レトロフィット及び現地改造も承ります。




- 技術 -

　●日本ASMから各種技術情報を正式に継承

・ソフトウエア技術もASMから制御設計部が受け継ぎサポート中

・セカンドソースには無い、ASM社認定プロバイダによる確実な安心感

　●リリースから30年余りたった今でも現役で使用される高耐久性

　●現役でオーダーメイド出荷可能な生産継続性の高さ

・最近では国内SiC向けで出荷実績あり

　●装置に精通した熟練のエンジニアによる安心の技術サポート

　●創業20年を超える実績を持つ、信頼性を持った株式会社アプトシステムズ社




安心の日本生産/Made in Japan


　電気・メカ・ソフトウェアの設計から、装置の製造・改造まで日本の新潟県長岡市にて行っています。

何かあった際の対応も、全て国内対応で簡潔するので長期間ご使用いただいても安心です。




上記でご紹介した 枚葉式 PECVD装置 Eagle10 TRIDENT

新規導入・改造・調整・保守

 
 
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