Eagle 10 改造項目
Eagle10 改造項目一覧
新部品 換装
FA2100TX TOSHIBA
PC処理能力のUP
FDDの廃止 → USBメモリ対応
OFH-4100 シリーズ ダイヘン
EOLによる修理不可の回避
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
HORIBA STEC
EOLによる修理不可の回避
ELO Touch Solutions
12インチ → 15インチ サイズUP
バックライト LED化による視認性UP
IOCエレベーター モーター& ドライバ
Oriental motor
EOLによる修理不可の回避
[REX-D400] EOLによる修理不可の回避
表示部視認性UP
ADTEC Plasma Technology
EOLによる修理不可の回避
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
Kuwana Metals
[SB51] EOLによる修理不可の回避
TEMP.CONT.2 & 3 / 温調器
OMRON
[E5CN] EOLによる修理不可の回避
表示部視認性UP
オーバーホール / Exchange
マッチングユニット /AM-1000S-ASM
ADTEC Plasma Technology
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
ASM
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
ユニカムゲートバルブ
VTEX
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
ウエハ搬送ロボット1(大気ロボット)
SHR3130-200-PM JEL
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
ASM
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
SVHR3163-020-PM JEL
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
AIO DIO DRIVER BD Type2 (EOL)
ADS CNT Board ASM
経年劣化によるサドンデス/装置停止回避
System Controller (MMI用PC) / Option2: FA2100TX TOSHIBA
タッチパネル / 90シリーズタッチモニタ ELO Touch Solutions
高周波発振装置 /AXシリーズ ADTEC Plasma Technology
ウエハアライナ / OFH-4100 シリーズ ダイヘン
IOCエレベーター モーター& ドライバ Oriental motor
TEOS気化器 SB51 Kuwana Metals
TEOS気化器 VC (Vapor Control) HORIBA STEC
TEMP.CONT.1 RKC
TEMP.CONT.2 & 3 OMRON
マッチングユニット /AM-1000S-ASM ADTEC Plasma Technology
ウエハ搬送ロボット1(大気ロボット) / SHR3130-200-PM JEL
ウエハ搬送ロボット2(真空ロボット) / SVHR3163-020-PM JEL
RC I/F Board, WHC I/F Board, ADS CNT Board ASM
ユニカムゲートバルブ VTEX
改造に必要な様々な部品に対して、交換や加工、
配線や信号の追加・変更、コンフィグやパラメータの最適化など、
確かな技術で対応いたします。
他社で改造された装置や、正規シリアルナンバーをお持ちでない
装置であっても条件次第で対応させていただく事も可能ですので、
まずはお気軽にお問い合わせください。
図面をお持ちで無い場合は、弊社エンジニアを派遣し仕様を
確認させていただき対応。
ライセンスが無い装置は正規にライセンスをご購入いただき、
正規サポート対象装置とさせていただく事もできます。
アプトシステムズは、Eagle-10のメーカーであるASM社から
世界で唯一認定された「ASM正規認定パートナー」です。
2008年11月に日本ASM社製バッチ式CVD装置の保守・サービス業務を受託し、
2011年4月には同社製の枚葉式CVD装置「Eagle-10」の保守・サービス業務も受託しました。
グローバルな半導体関連企業で経験を積んだ高度な技術力を持つエンジニアたちにより、
多くの実績を上げています。