Eagle 10
半導体製造装置Eagle10の新規導入・改造・調整・保守
枚葉式プラズマCVD装置 Eagle10
Eagle10は、日本エー・エス・エム株式会社(日本ASM社)製の枚葉式プラズマCVD装置です。
販売開始から30年余り経ってもなお、現役の装置として国内外でご好評いただいています。
アプトシステムズでは、ASM社発行のシリアルナンバーを継承した正規品のEagle10を毎年販売しています！
CVD装置は、化学反応によって基板の表面に薄膜を成長させる装置の一種で、半導体製造の前工程で使用されています。プラズマCVD装置は、CVD装置の中でもプラズマを用いることで低温でも反応が進むように工夫されており、薄膜を効率よく製造でき、温度に敏感な基板材料にも対応できるというメリットがあります。
Eagle10は各チャンバー内に複雑な機構部が少ないため、信頼性が高く安定的に稼働し、メンテナンスも容易です。
反応チャンバーも機械的動作はウェハ搬送時にサセプタを空圧シリンダで上下する機構だけとなっています。
Eagle10は、主に6インチ～8インチのウェハに対応しており、中央のウェハ搬送チャンバーを中心に3つの反応チャンバーと2つのI/Oロードロックチャンバーをゲートバルブを介してマウントした、マルチチャンバー方式の構成となっています。ウェハの搬送には2台のロボットアームを実装しており、それぞれ大気状態と真空状態の搬送をおこなっています。
2つのI/Oロードロックチャンバーと2台のロボット構成による無駄のないウェハ搬送機構で、3つの反応チャンバーが最良の稼働率で動作でき、高スループットが得られ量産体制に適しています。
高スループット
最新対応
Eagle10の特長と導入メリット
品質保証
豊富な経験を持つ技術者によるMade in Japanの品質保証
独立した3つの反応チャンバーによる高スループット
最新の半導体製造ニーズに応えるSiウェハおよびSiCウェハ対応技術（改造オプション）
長期保証
世界唯一のASM認定サービスプロバイダーであるアプトシステムズによる長期保証
長期間使用
高品質・高メンテナンス性能により、長期間の使用が可能
汎用性
柔軟な改造が可能な汎用性と優れた顧客満足度
APTは世界で唯一の
ASM正規認定パートナー
アプトシステムズは、Eagle-10のメーカーであるASM社から
世界で唯一認定された「ASM正規認定パートナー」です。
2008年11月に日本ASM社製バッチ式CVD装置の保守・サービス業務を受託し、
2011年4月には同社製の枚葉式CVD装置「Eagle-10」の保守・サービス業務も受託しました。
グローバルな半導体関連企業で経験を積んだ高度な技術力を持つエンジニアたちにより、
多くの実績を上げています。
事例 / 実績
