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Eagle 10 改造事例
P-SiN装置(窒化膜)からTEOS装置(TEOS-SiO膜)へ改造
8インチ → 6インチ化
電話・メールなどで一次問い合わせをいただき、技術ミーティングをセッティングします
APTのエンジニアが訪問し、ヒアリングしながらコンサルティング提案も行います
お客様の要望を元に、効果的な改造内容を検討し見積仕様書を作成します。
内容を精査・エンジニアリング見積仕様書を作成後、見積書と共に提出します
お客からPOをいただいたら、エンジニアのスケジュールを調整し、改造作業へ
改造に必要な様々な部品に対して、交換や加工、
配線や信号の追加・変更、コンフィグやパラメータの最適化など、
確かな技術で対応いたします
アプトシステムズは、Eagle-10のメーカーであるASM社から
世界で唯一認定された「ASM正規認定パートナー」です。
2008年11月に日本ASM社製バッチ式CVD装置の保守・サービス業務を受託し、
2011年4月には同社製の枚葉式CVD装置「Eagle-10」の保守・サービス業務も受託しました。
グローバルな半導体関連企業で経験を積んだ高度な技術力を持つエンジニアたちにより、
多くの実績を上げています。
半導体製造装置Eagle10の新規導入・改造・調整・保守
アンカー 5
アンカー 6
アンカー 7
アンカー 8
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