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取扱装置・製品
PE-CVD装置 Eagel10
S/Nを継承した中古装置となりますが、最新(Ver.6)仕様の部品に一新して一から生産する為、高い品質を保ちます。
SiCウエハ搬送仕様等、柔軟にカスタマイズが可能です。