旧型の半導体製造装置（レガシーツール）を使用しているデバイスメーカーは、これらの装置を可能な限り長く活用したいと考えています。事実、多くのEagle10ユーザーは30年余りにわたり継続して使用を続けており、弊社も長年にわたりそのサポートを行っています。一方で、装置メーカーは次世代の大口径装置の開発や製造に注力する傾向があり、その結果、レガシーツールのサポートに十分なリソースを割くことが難しい状況です。私たちは、このような両者のニーズをつなぐ取り組みとして、装置メーカーであるASM社承認のもと、レガシーツールであるEagle10に特化したサービスを展開しています。
Eagle10 改造項目一覧
ご注意: Eagle10の装置Verisonによっては、改造できない項目もあります。詳細はお問い合わせください。
対象部品 | 改造種類 | 改造メリット |
システムコントローラー MMI用PC | 新部品へ換装 | 既存システムの延命化 PCフリーズや動作不良の回避 |
タッチパネル | 新部品へ換装 | 12インチ⇒15インチ サイズUP バックライト LED化による視認性UP |
マッチングユニット | オーバーホール Exchange or 新部品へ換装 | 経年劣化によるサドンデス ⇒装置停止の回避 RFの整合が取れない事による成膜不良の回避 |
高周波発振装置 RFジェネレーター | 新部品 換装 | EOLによる修理・オーバーホール不可の回避 経年劣化でRF出力誤差による成膜不良の回避 経年劣化によるサドンデス⇒装置停止の回避 |
ウエハアライナ | 新部品 換装 | EOLによる修理・オーバーホール不可の回避 アライメント不良による位置ズレの回避 経年劣化によるサドンデス⇒装置停止の回避 |
ウエハ搬送ロボット1 (大気ロボット) | オーバーホール Exchange | 経年劣化によるサドンデス⇒装置停止の回避 軸ズレによる接触問題の回避 位置ズレによる成膜不良の回避 |
ウエハ搬送ロボット2 (真空ロボット) | オーバーホール Exchange | 経年劣化によるサドンデス⇒装置停止の回避 軸ズレによる接触問題の回避 位置ズレによる成膜不良の回避 |
また、上記に限らず様々なカスタマイズ等にもご相談に応じています。