Eagle10 改造情報「SiCウエハ対応アライナ」

OFH-4101Q シリーズ / ダイヘン社製

透明基板向け最新アライナ登場！

国内でのSiCウエハや透明基板の運用が進む中、Eagle10対応の最新アライナがリリースされました！

Eagle10で透明基盤をご検討中のお客様へ

長年ご愛用いただいているEagle10で、最新のSiCウエハ成膜をご検討中の方に最適です。

故障への備えや更新をお考えのお客様へ

最新の技術を備えたアライナで、安定した運用と万一の際の安心をサポートします。

ぜひ、新しいアライナで透明基板の生産性向上をご体感ください！

・国内採用実績多数

　⇒ SiCウエハ搬送での実績あり。

・OFH-100Aからの改造

　⇒ 電源BOX追加が必要となります。(DC24Vの為)

・SALからの改造

　⇒ 上面部パネル、全面扉の板金変更が必要となります。

・SALかつ AGV対応仕様の場合

　⇒ AGVの軌跡に干渉する場合は改造が不可能なケースもあります。

・IOC改造等も合わせた「SiCウエハ搬送最適化改造ソリューション」も

　⇒ アライナ以外の改造も含んだ透明化搬送特化カスタマイズ改造パックも

提案可能です。