Eagle10 C2F6 → C3F8 改造
ガス サプライヤーによる C2F6 EOL通知を受け引合い増加中
C3F8用改造とクリーニング条件出しの助力対応可能。
（ASM社の改造パターン展開と保有しているクリーニング条件での確認等）
昨今、C2F6の供給懸念を受け、C3F8化及びリモートプラズマ化のご相談を
いただく事が増えてきました。
もちろんアプトシステムズではどちらも対応可能です。
ただし、ご使用の装置仕様により対応方法は異なりますので、
まずは弊社まで御連絡ください！
一般的な改造パターン
• C2F6→C3F8へのMFC交換
• コンフィグ・設定変更
• 各種部品交換
• 上記に伴う各種エンジニアリング
C2F6 と C3F8 の共存化 (生産と評価の両立)
1台の装置内にて「現状での生産」と「C3F8の評価」を両立する場合、
C3F8のガスラインの追加改造が必要となります。
また、搭載スペースの確認等の実機下見も必要となります。
• C3F8ガスラインの完全追加
• 配管交換
• 電気配線追加
• コンフィグ・設定変更
• 空圧系改造
• 各種部品交換
リモートプラズマ(NF3 ラジカルクリーニング)化 C2F6及びC3F8の場合、RC内で高周波を印加してRF放電を実施するドライエッチング方式です。 リモートプラズマはチャンバ室外でNF3を分解させて FラジカルにしてRC内へ送り込み、チャンバ内の膜を消去させる方式です。 ガスだけでなく、冷却水などの用力変更も必要であり、かなり大掛かりな改造が必要となります。 また、追加搭載部品のスペースの確認等の実機下見も必要となります。 |