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Eagle 10 改造項目
Eagle10 改造項目一覧
新部品 換装
オーバーホール / Exchange
注1: 作業費はあくまで目安となります。対象となる装置及び設置状況により異なる場合がございます。
注2: 2025年4月時点での情報となります。将来的に市況や為替変動等、大きくコストに影響が出た場合はこの限りではございませんのでご注意ください。
System Controller (MMI用PC) / Option2: FA2100TX TOSHIBA
タッチパネル / 90シリーズタッチモニタ ELO Touch Solutions
高周波発振装置 /AXシリーズ ADTEC Plasma Technology
ウエハアライナ / OFH-4100 シリーズ ダイヘン
IOCエレベーター モーター& ドライバ Oriental motor
TEOS気化器 SB51 Kuwana Metals
TEOS気化器 VC (Vapor Control) HORIBA STEC
TEMP.CONT.1 RKC
TEMP.CONT.2 & 3 OMRON
マッチングユニット /AM-1000S-ASM ADTEC Plasma Technology
ウエハ搬送ロボット1(大気ロボット) / SHR3130-200-PM JEL
ウエハ搬送ロボット2(真空ロボット) / SVHR3163-020-PM JEL
RC I/F Board, WHC I/F Board, ADS CNT Board ASM
ユニカムゲートバルブ VTEX
改造に必要な様々な部品に対して、交換や加工、
配線や信号の追加・変更、コンフィグやパラメータの最適化など、
確かな技術で対応いたします
アプトシステムズは、Eagle-10のメーカーであるASM社から
世界で唯一認定された「ASM正規認定パートナー」です。
2008年11月に日本ASM社製バッチ式CVD装置の保守・サービス業務を受託し、
2011年4月には同社製の枚葉式CVD装置「Eagle-10」の保守・サービス業務も受託しました。
グローバルな半導体関連企業で経験を積んだ高度な技術力を持つエンジニアたちにより、
多くの実績を上げています。
半導体製造装置Eagle10の新規導入・改造・調整・保守
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