グループ会社

株式会社シナノ精機

各種産業における製造装置の組立・調整・メンテナンス
1. 半導体関連
……..PECVD・ALD装置のOEM生産、スピンエッチャー
2. FPD、有機EL、太陽電池関連
……..蒸着装置、スパッター装置、アニール装置、加熱冷却装置
3. その他
……..・JEL社ロボットOH認定工場
……..・ハードディスクラッピング装置

株式会社アイメット

・半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ装置の開発設計
・その他真空機器装置の設計製作